Высокоточный контроль расширяет возможности передового производства

В секторах полупроводников и точного машиностроения измерительныемикроскопслужит основным инструментом контроля качества, его точность и эффективность напрямую влияют на выход продукта и производственные затраты. В последнее время многие производители и исследовательские институты выпустили новые продукты для измерительных микроскопов и технические прорывы, ориентированные на различные сценарии применения, поднимая микроразмерный контроль на новую высоту.

Что касается модернизации оборудования, компания Nikon Metrology продемонстрировала свою видеоизмерительную систему NEXIV VMZ-S и линейку измерительных микроскопов на выставке SEPEM в Гренобле в ноябре 2026 года. Система VMZ-S сочетает в себе высокоточную оптику, интеллектуальную автоматизацию и интуитивно понятное измерительное программное обеспечение, разработанное специально для полупроводников, электроники и прецизионного производства, что обеспечивает быстрый и повторяемый контроль размеров сложных миниатюрных элементов. Примерно в тот же период компания Vision Engineering выпустила цифровой инспекционный микроскоп с автофокусировкой PicoZoom, заполнив пробел между платформами начального уровня и платформами высокого класса. Система оснащена моторизованным зумом и автофокусировкой одним щелчком мыши с диапазоном оптического зума от 0,7x до 4,5x и системным увеличением от 18,9x до 121,8x. Его функция фокус-стекинга объединяет изображения, снятые в разных фокальных плоскостях, в четкую композицию, эффективно увеличивая глубину резкости для компонентов с характеристиками глубины, таких как паяные соединения и резьбовые детали. Встроенные инструменты определения размеров и вывода отчетов позволяют операторам выполнять измерения, документировать и генерировать отчеты в системе, поддерживая документацию по контролю качества и требования к прослеживаемости. Прейскурантная цена в Великобритании начинается от 3250 фунтов стерлингов.

На технологическом фронте академические исследования продолжают расширять границы возможностей измерительных микроскопов. В исследовании, опубликованном в журнале Measurement Science and Technology, изучались возможности точечной автофокусной микроскопии (PAM) на крутых поверхностях. Традиционный PAM ограничен числовой апертурой объектива, при этом максимальные измеряемые углы обычно не превышают 20 °. В исследовании предложено использовать принципы диффузного отраженного света и смещенного падения для расширения измеряемых углов наклона до 0–80 °, достигая субмикрометровой точности измерений на умеренно шероховатых оптических рассеивателях. В другом исследовании был представлен новый метод измерения по оси Z, основанный на монокулярном микроскопе и высокоточном наклонном столике, синтезирующий последовательности многопроекционных изображений посредством запрограммированного наклона образца для замены традиционных многокамерных систем, обеспечивая метрологию высоты на микрометровом уровне при одновременном снижении стоимости и сложности системы.

От проверки полупроводниковых пластин до проверки размеров медицинского оборудования, измерениямикроскопыПродолжайте удовлетворять насущные потребности производства в более высокой точности, более высокой скорости и улучшенной отслеживаемости благодаря оптическим инновациям и технологиям автоматизации.